세계 최대 반도체 노광장비(극자외선을 이용해 반도체를 생산하는 장비) 기업인 네덜란드 에이에스엠엘(ASML)이 화성 동탄에 약 2,400억 원 규모의 첨단 극자외선(EUV) 클러스터 조성 투자를 결정했다.

오병권 경기도지사 권한대행, 서철모 화성시장, 피터 베닝크(Peter Wennink) 에이에스엠엘 CEO, 이우경 에이에스엠엘 코리아 대표는 18일 화성시 석우동 ASML코리아에서 이런 내용을 담은 투자협약을 체결하고, 투자와 반도체 부문 인재 양성 등 지역 상생협력을 약속했다. 이날 행사에는 문승욱 산업통상자원부장관, 이원욱 국회의원, 이은주 경기도의회 경제노동위원회 위원장, 황광용 화성시의회 기획행정위원장, 이창한 한국반도체협회 부회장이 참석했다.

ASML은 지난 5월 13일 산업통상자원부의 K-반도체 전략회의 행사에서 경기도 내 투자계획을 밝힌 바 있으며, 부품 재제조 시설(리페어센터)과 교육센터(트레이닝센터), 체험관 등을 집적화한 클러스터 조성에 약 2,400억 원을 투자할 계획이다.

ASML코리아는 오는 2024년 동탄2 도시지원시설 용지 약 1만6,000㎡ 부지에 1,500명 수용이 가능한 클러스터에 입주할 예정이다. 이와 함께 교육센터 운영을 확대해 국내·외 장비 전문가 교육은 물론, 지역 내 학생들을 대상으로 반도체 체험 센터, 과학캠프, 산학연구지원 등 활발한 교육·연구지원 활동을 추진할 방침이다.

앞서 정부는 지난 5월 K-반도체 추진전략을 발표, 반도체 공급망 안정화 대책으로 단기간 추격이 어려운 최첨단 기술 분야(노광, 식각, 소재) 적극 유치와 ASML 트레이닝센터 유치 중요성을 언급한 바 있다.

경기도와 화성시는 ASML코리아의 투자가 성공적으로 실행되도록 관련 인허가 등 행정 지원에 적극 협력하고, 산학 연계 및 소부장 국산화 등을 적극 지원하기로 했다.

도는 지난해 6월 투자 정책 혁신 방향을 수립해 글로벌 반도체 산업 유치에 집중했으며, 같은 해 12월 ASML코리아의 투자계획을 입수한 뒤 화성시와 협력해 동탄 부지를 제안하고 조기 입주를 도왔다.

이번 투자로 ASML코리아는 한국의 대규모 반도체 산업투자에 대응하기 위해 부품의 선순환 방식인 재제조사업을 확대함으로써 경기도 내 반도체 분야 혁신 기업들과 협업을 강화해 나갈 전망이다.

이날 행사에서 피터 베닝크 회장은 “한국은 1996년부터 고객과 함께 해 온 ASML에 매우 중요한 시장이다. 이를 위해 트레이닝 센터와 재제조 센터, 지역기여가 강화된 클러스터 투자를 결정했다”며 “한국 정부가 보여주신 적극적인 협조에 감사드리고 앞으로도 이 관계를 이어나가며 한국 반도체 산업에 기여할 수 있길 바란다”라고 말했다.

이에 오병권 경기도지사 권한대행은 “우리나라 반도체 대기업은 ASML사 매출의 상당수를 차지하는 주요고객으로, 이번 협약으로 뛰어난 기술력을 가진 도내 소부장 관련 중소기업과 협업이 더욱 활성화되어 우리 제조업의 뿌리를 더욱 튼튼하게 할 것으로 기대한다”며 “경기도는 이번 투자가 차질 없이 진행되도록 지원을 아끼지 않겠다”고 밝혔다.

한편 ASML은 1984년 네덜란드 벨트호벤에서 30여명으로 시작해, 2021년 현재 전 세계 16개국에 3만 명 직원과 연간 19조 원 매출을 기록하는 세계 최대의 반도체 장비 회사다.

ASML코리아는 1996년 화성시 석우동에서 반도체 장비엔지니어링 서비스를 통해 국내 주요 종합 반도체 기업에 노광장비를 제공해 왔으며 2019년 부품수리센터(재제조)를 국내에 개소했다. 이번 추가 투자를 통해 재제조의 품목 확대는 물론, 기존 교육센터와 지역기여 프로그램을 대폭 확대해 운영 할 계획이다.